PL系列產品

新光速提供的PL系列產品，是精拋用途所開發。因不同的基材與樹酯組合，而產生不同特性的拋光墊。本產品可應用于各種III-V化合物半導體材料、IC制造、金屬、石英、玻璃、光罩與硬盤等材料最后拋光。

本產品因特殊的微孔結構，對研磨液具備良好保持性，同時因拋光墊具有適度的剛性，加上良好的拋光再現性，可提升制程之穩定性與尺寸精密度。本產品具有高移除率、高平坦性、低缺陷性與高性價比等優勢。

保存期限：半年
保存條件：溫度范圍=10°C~30°C ，濕度范圍<=70%

儲存方法：

1. 存放于陰涼、干燥、通風良好以及陽光無法直接照射的地方，遠離熱源、發火源及不相容物。

2. 貯存設備應以耐火材料構筑。

3. 貯存區應標示清楚，無障礙物，與工作區應分開。

4. 勿重壓，堆棧勿超過三層。

安全處置：

1. 除去所有發火源并遠離熱及不兼容物。

2. 工作區應有”禁止抽煙”標志。

3. 保持走道和出口暢通無阻。

4. 穿戴適當的個人防護設備，以避免與此制品或受污染設備接觸。

包裝方式： 20片一箱(10片/每一包裝袋)
產品制造： 品質依據ISO9001規范
廢棄物處理： 依據當地政府相關法律規定